潔淨室空調采用循環空氣方式

FFU層流罩之潔淨室亂流式：

　　空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器（HEPA）進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。　　
　　
        優點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無塵工作台，提高潔淨室等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。

    FFU層流罩之集中式潔淨空調係統是無塵香蕉色视频在线观看工程的潔淨設備（如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效空氣過濾器、風機等）集中設計在空調機房內，用風管將潔淨空氣送進各個潔淨室。分散式潔淨空調係統是在一般的空調環境或低級別潔淨空調環境中，設置香蕉色视频在线观看設備或潔淨空調設備（如香蕉色视频在线观看單元、空氣自淨器、層流罩、潔淨工作台等）.在半導體芯片工廠或其他生產過程要求高潔淨度的潔淨廠房中，其潔淨空調係統采用循環空氣方式，其循環方式主要有集中式、隧道式、風機過濾單（FFU）方式和微環境+開放式潔淨室方式等。這些送風方式既可以滿足高潔淨度要求，還可以不同程度地減小能耗。

　  LED/液晶/線路板製造是一種高度精密化的工業，一些細微的環境或操作變動都有可能影響其製造成品的質量，因此製造過程均要求在嚴格控製下的潔淨室中操作。潔淨室是一個采用層層過濾以去除空氣中微粒存在，並控製室內溫度與濕度於恒定狀態的密閉空間。


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